Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Ultraprecision grinding and single point diamond turning of silicon wafers and their characterization

 
: Kerstan, M.; Ehlert, A.; Huber, A.; Helmreich, D.; Beinert, J.; Döll, W.; Schinker, M.

American Society for Precision Engineering -ASPE-:
Proceedings of silicon machining 1998. Spring Topical Meeting
Raleigh/NC: ASPE, 1998
ISBN: 1-88770-619-4
S.32-35
Spring Topical Meeting on Silicon Machining <1998, Carmel-by-the-Sea/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IWM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-37342.html