Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Amorphous carbon coatings prepared by high rate rf plasma deposition from fluorinated benzenes

 
: Sah, R.E.; Bubenzer, A.; Dischler, B.; Koidl, P.

:

Applied Physics Letters 46 (1985), Nr.8, S.739-741 : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0003-6951
ISSN: 1077-3118
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IAF ()
Dünnschicht; fluorierter Kohlenwasserstoff; Plasmaverfahren

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-3715.html