Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Trajectory split method for Monte-Carlo simulation of ion implantation

 

:

IEEE transactions on semiconductor manufacturing 8 (1995), S.402
ISSN: 0894-6507
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-36794.html