Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Titanium gettering in silicon - investigation by deep level transient spectroscopy and secondary ion mass spectroscopy

 
: Leo, K.; Schindler, R.; Voß, B.; Knobloch, J.

Journal of applied physics 62 (1987), S.3472
ISSN: 0021-8979
ISSN: 1089-7550
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ISE ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-36613.html