Fraunhofer-Gesellschaft

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Tin oxide gas sensors. An analytical comparison of gassensitive and non-gassensitive thin films

 
: Drost, S.; Hübner, H.-P.

Sensors and Actuators. B 4 (1991), Nr.3/4, S.463-466
ISSN: 0925-4005
Eurosensors <4, 1990, Karlsruhe>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Co-sensor; gassensor; Metalloxidhalbleiter; sensor; tin-oxide; Zinnoxid

Abstract
Zinnoxid ist ein bei Gassensorentwicklungen häufig verwendetes Material. Gasempfindliche und nicht-gasempfindliche Schichten konnten durch die Wahl der Parameter bei den reaktiven Sputtern und Tempern hergestellt werden und erlauben Rückschlüsse auf die Ursache der Gasempfindlichkeit und der mangelhaften Stabilität.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-36606.html