Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Three-dimensional simulation of topography and doping processes at FhG

 

Lorenz, J.:
3-dimensional process simulation
Wien/Heidelberg: Springer, 1995
ISBN: 3-211-82741-2
S.109ff
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-36547.html