Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Three dimensional simulation of reticle defects in optical lithography

 
: Henke, W.; Weiß, M.

Proceedings KIT Microlithography Seminar
1991
S.257-275
Microlithography Seminar <1991, San Jose/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-36545.html