Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Technologien zur monolithischen Integration von mikromechanischen und mikroelektronischen Funktionsgruppen

 
: Heuberger, A.; Riethmüller, W.; Benecke, W.

Mikroelektronik. Vorträge der GME-Fachtagung
Berlin/West: VDE-Verlag, 1989 (GME-Fachbericht 4)
ISBN: 3-8007-1624-0
S.281-286
Mikroelektronik <1989, Baden-Baden>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Der Bedarf an mikroelektronik-kompatiblen Sensoren und Aktuatoren wird immer deutlicher. Ihr Vorteil ist, daß sie durch die monolithische Integration von Elektronik und Mechanik über lokale Intelligenz verfügen können. Doch bereits die Möglichkeit der - Signalverstärkung im Falle kleiner Signalpegel, - Kompensation von Quereffekten, - Linearisierung von Kennlinien, - Analog-Digitalwandlung oder der - Datenreduktion und -kompression rechtfertigen Überlegungen zur monolithischen Integration von mechanischen und elektronischen Funktionselementen. So sind beispielsweise bei mikromechanischen Sensoren mit kapazitiver Signalwandlung selbst bei hohen Empfindlichkeiten sehr geringe Kapazitätsänderungen (im fF-Bereich) auszuwerten. Ein gutes Beispiel für einen Sensor, der erst durch die monolithische Integration eines Vorverstärkers einen sinnvollen Einsatz erlangt, ist der Sensor zur Messung von Scherkräften in Windkanälen. Ein Beispiel, bei dem durch monolithische Integration von Elektronik a uf dem Sensorchip erhebliche Einsparungen bei der Aufbau- und Verbindungstechnik erreicht werden, sind sogenannte Vibrationssensoren. Durch die Integration einer einfachen Multiplexerschaltung ergibt sich dort eine erhebliche Reduktion der Zahl von Ausgangsleitungen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-35918.html