Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Technologie fuer immer kleinere Strukturen

 
: Heuberger, A.

Siemens-Zeitschrift 58 (1984), Nr.4
ISSN: 0302-251X
ISSN: 0302-2528
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Hochintegration; Lithographie; Röntgenstrahlen

Abstract
Um die feinen Strukturen von integrierten Schaltkreisen in der Grossserie wirtschaftlich zu erzeugen, verwendet man heute durchwegs Lithographieverfahren. Die einfache Schattenprojektion im lichtoptischen Bereich wird jedoch zunehmend durch aufwendigere Verfahren ersetzt. An solchen Entwicklungen arbeitet Siemens im Rahmen einer Arbeitsgemeinschaft, an der auch weitere Halbleiterhersteller und die Fraunhofer-Arbeitsgruppe fuer Mikrostrukturtechnik beteiligt sind. (IFT)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-35889.html