Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Surface micromachining on silicon with thick layers

 
: Heuberger, A.; Löchel, B.

Messe München GmbH:
PRODUCTRONICA '95. Symposium on Microsystem Technology. Proceedings
München, 1995
PRODUCTRONICA '95. Symposium on Microsystem Technology <1995, München>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()