Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

A study of reticle defects imaged into three-dimensional developed profiles of positive photoresist using the SOLID lithography simulator

 

Microelectronic engineering 14 (1991), S.283-297
ISSN: 0167-9317
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-35244.html