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1998
Conference Paper
Titel
Structural characterization of local SIMOX-substrates
Abstract
In dieser Arbeit werden vier unterschiedliche Methoden vorgestellt, lokale SOI-Substrate herzustellen. Als Grundlage dient die SIMOX-Technologie. Die Varianten werden hinsichtlich der resultierenden Kantenstruktur zwischen SOI- und Bulk-Bereich untersucht. Außerdem werden die Art und Dichte der Kristalldefekte imBulk-Bereich der Substrate ermittelt. Die Untersuchungen erfolgten mittels Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) und chemischem Defektätzen.
Konferenz