Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Strömung und Verhalten im Reinraum (Versuch 7)

Current and Conduct in Cleanrooms
 
: Gaugel, T.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 1999 : 5. und 6. Mai 1999, Stuttgart
Stuttgart, 1999
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1999, Stuttgart>
Meßtechnisches Praktikum <1999, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Bekleidung; Fertigungsprozeß; luftgetragene Partikel; Mensch; Oberflächenreinheit; Partikelzähler; Personal; Reinheitszustand; Reinraum; Stickstoffnebler; Teilchen; Waferinspektion

Abstract
Das Personal ist aus der reinen Fertigung bis dato nicht wegzudenken und muß in den Reinraum integriert werden. Vorgestellt werden anhand von Beispielen zahlreiche Aspekte hinsichtlich angemessener Reinraumbekleidung, strömungsgerechtem Verhalten im Reinraum sowie Methoden zur korrekten Ausbildung und Sensibilisierung des Personals für reine Fertigungs- und Prozeßabläufe.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-35073.html