Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Stroemungsausbildung an Fertigungsgeraeten fuer den Reinraum-Einsatz. Tl.2

 

Iee productronic (1988), Nr.11, S.84-86 : Abb.
ISSN: 0722-6012
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Luftführungsprinzip; Reinraum; Strömungsmeßtechnik; Strömungssichtbarmachung; Strömungstechnik; Strömungsuntersuchung

Abstract
Zur Qualifizierung von Fertigungsgeräten für den Reinraum-Einsatz ist neben dem Einsatz der Partikelmeßtechnik die Anwendung der Strömungssichtbarmachung unerläßlich. Die sich bei den Strömungsanalysen ergebenden Hauptaufgabengebiete, Untersuchungsschwerpunkte sowie Zielsetzungen werden näher beschrieben. In einem Überblick werden gängige qualitative und quantitative Untersuchungsmethoden aufgezeigt. (IPA)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-35067.html