Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Spin coating in UV depth lithography and 3D microfabrication

 
: Engelmann, G.; Dietrich, L.; Renger, E.; Gentzsch, S.; Reichl, H.

ACS Organisations GmbH, Wunstorf; AMA Fachverband für Sensorik e.V., Wunstorf:
Sensor '97. Proceedings
Wunstorf: ACS Organisations GmbH, 1997
S.115
Sensor <8, 1997, Nürnberg>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-34484.html