Fraunhofer-Gesellschaft

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Spezifikationen von Reinraum-Monitoring-Systemen

 
: Schäfer, W.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart; Verein Deutscher Ingenieure e.V. -VDI-, Düsseldorf; Württembergischer Ingenieurverein, Stuttgart:
Fertigung und Montage unter Reinraum-Bedingungen. Neue Tendenzen der Reinraum-Technik, Personaleinsatz, Automatisierung, Konstruktions-Richtlinien, Materialien, Reinigung, besondere Anforderungen der Pharmazie, der Leiterplatten-Herstellung und der Zuliefer-Industrie : Seminar Stuttgart, 18. und 19. März 1992
Stuttgart, 1992
10 S.
Seminar Fertigung und Montage unter Reinraum-Bedingungen <1992, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; Meßdatenerfassung; monitoring system; Reinraum

Abstract
In Fertigungen im Reinraumbereich gewinnt die Überwachung der Prozeßparameter und Umgebungsbedingungen, wie z.B. die Partikelkontamination durch ständig wachsende Anforderungen mehr und mehr an Bedeutung. Den Anforderungen werden Monitoring-Systeme mit automatisierter Meßdatenerfassung und -verarbeitung gerecht. Dieser Beitrag zeigt am Beispiel der Partikelkontamination in hochreinen Medien, wie ein für den Anwender integrierbares, automatisiertes Monitoring-System konzipiert und realisiert wurde.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-34467.html