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Spark source mass spectrometry on silicon for solar cells

Funkenmassenspektrometrie an Silizium fuer Solarzellen

	O'Mara, B.; Ravi, K.V. ; Electrochemical Society -ECS-: Proceedings of the symposia on electronic and optical properties of polycrystalline or impure semiconductors and novel silicon growth methods. Vol.80-5 Pennington/N.J., 1981 S.106-113 : Tab.,Lit.

	Englisch
	Aufsatz in Buch
	Fraunhofer ISE ()
	Funkenmassenspektrometrie; Massenspektrometrie; Silizium; Solarzelle; Spurenanalyse