Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

SOI-Herstellung und Anwendung am Fraunhofer-Institut IMS Duisburg.

 
: Gassel, H.

Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Halle; Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik -IWM-, Freiburg/Brsg.:
Symposium zum BRD-Consortium Bonding Research and Development 1994
Halle, 1994
Symposium zum BRD-Consortium Bonding Research and Development <1994, Halle>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS ()
silicium; silicon; silicon-on-insulator

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-34120.html