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1990
Conference Paper
Titel
Smart-Power-Schalter mit integrierter, dielektrisch isolierter CMOS-Ansteuerung
Abstract
Für den Einsatz in Brückenschaltungen für Frequenzumrichter wurde ein intelligenter Leistungsschalter entwickelt, der auf einem Chip einen vertikalen Leistungs-DMOS-Transistor sowie die erforderliche Ansteuer- und Überwachungselektronik enthält. Die notwendige Isolation zwischen CMOS-Absteuerelektronik und VDMOS-Leistungstransistor wird durch eine vergrabene SiO2-Schicht erreicht.