Fraunhofer-Gesellschaft

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Smart-Power-Schalter mit integrierter, dielektrisch isolierter CMOS-Ansteuerung

 

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik -GME-:
BICMOS und Smart Power. Anwendungen, Stand, Perspektiven
Berlin/West: VDE-Verlag, 1990
S.155-161
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik (Fachtagung) <1990, Bad Nauheim>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS ()
Leistungselektronik; Smart-Power; SOI

Abstract
Für den Einsatz in Brückenschaltungen für Frequenzumrichter wurde ein intelligenter Leistungsschalter entwickelt, der auf einem Chip einen vertikalen Leistungs-DMOS-Transistor sowie die erforderliche Ansteuer- und Überwachungselektronik enthält. Die notwendige Isolation zwischen CMOS-Absteuerelektronik und VDMOS-Leistungstransistor wird durch eine vergrabene SiO2-Schicht erreicht.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-33996.html