Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Simulation of resist development on wafer topography in x-ray lithography

 
: Weiß, M.; Oertel, H.K.; Krauser, J.

Microelectronic engineering 17 (1992), Nr.1-4, S.409-412
ISSN: 0167-9317
International Conference on Microlithography: Microcircuit Engineering (ME) <17, 1991, Rome>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-33716.html