Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

SIMOX-Technologie für monolithisch integrierbare Beschleunigungssensoren

 
: Köhler, R.; Kück, H.; Sölla, F.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Jahresbericht 1996
Duisburg: IMS, 1997
ISSN: 1432-2986
S.20-21
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-33550.html