Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

SIMOX and wafer bonding, combination of competitors complements one another

 
: Gassel, H.; Vogt, H.

Electrochemical Society -ECS-:
Electrochemical Society Meeting '93. Extended Abstracts
Pennington/N.J., 1993 (Electrochemical Society - Extended Abstracts 2/93)
ISBN: 1-56677-031-9
S.1246-1247
Electrochemical Society (Meeting) <183, 1993, Honolulu/Hawaii>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS ()
Ätzen; Ätzgeschwindigkeit; buried etch stop; etch rate; etching; silicon-on-insulator; SIMOX; wafer bonding

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-33547.html