Fraunhofer-Gesellschaft

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Schneidbelagtopographie beim Innenlochsaegen

HGF-Kurzberichte 87/22.
 
: Struth, W.

Industrie-Anzeiger (1987), Nr.20, S.40 ff : Abb.
ISSN: 0019-9036
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPT ()
Einkristall; Innenlochsaege; Schneidbelagtopographie; Silizium; Verschleiß

Abstract
Der Bericht erlaeutert das Aufteilen von Silizium-Einkristallen in Scheiben -Wafer- mittels sog. "Innenlochsaegen". Die Innenlochsaege ist ein kreisringfoermiges, 0.15 mm dickes Blech, an dessen innerem Rand ein Schneidbelag aus Diamanten in Wickelbindung aufgebracht ist. Dieses Werkzeug wird wie ein Trommelfell auf dem Rotor eines Luftlagers gespannt -Erzielung axialer Steifigkeit- und zentriert. Es werden Verschleissfortgaenge am Werkzeug und ihre Auswirkungen auf Prozessverlauf und Arbeitsergebnis geschildert. Besondere Aufmerksamkeit gilt dabei dem Ebenheitsfehler der Wafer.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-32734.html