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1996
Journal Article
Titel
Schichtsysteme
Titel Supplements
Innovative Schichtsysteme abgeschieden mit ECD- und PVD/CVD-Verfahren
Alternative
New Layer Systems
Abstract
Plasmaunterstützte- beziehungsweise ECD-Schichten sind zu einem unverzichtbaren Element leistungsfähiger und wirtschaftlicher Werkzeuge sowie Bauteile geworden. Durch die Kombination beider Verfahren können zusätzliche neue Anwendungsgebiete erschlossen werden. Vorgestellt werden unterschiedliche Schichtkombinationen und deren Einsatz in der Praxis. Plasma assisted, or ECD layers, have become an unrenouncable element of efficient and profitable tools and components. By combining both processes, new application areas can be developed in addition. Various combinations of layers and their practical use are introduced in here.