Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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RF-Plasma deposited amorphous hydrogenated hard carbon thin films - preparation, properties and applications.

Mit Wasserstoff gehaertete duenne amorphe Kohlenstoffschichten, die aus rf-Plasma abgeschieden wurden - Praeparation, Eigenschaften und Anwendungen
 
: Brandt, G.; Bubenzer, A.; Dischler, B.; Koidl, P.

:

Journal of applied physics 54 (1983), Nr.8, S.4590-4595 : Abb.,Lit.
ISSN: 0021-8979
ISSN: 1089-7550
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IAF ()
Abscheidung; amorphe Kohlenstoffschicht; Benzoldampf; Brechungsindex; GaAs; Ge; Glas; Infrarot; Ionenenergie; Quarz; Si; Wachstumsrate

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-31934.html