Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Reinraumtechnik zur Fertigung von Displays

Cleanroom Technology for Display Production
 
: Dorner, J.

EUROFORUM Deutschland:
Display 1996
Düsseldorf, 1996
Display <1996, Nürtingen>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Bildschirm; Fertigung; Kontamination; Optimierung; Reinraum; Reinraumtechnik

Abstract
In der Herstellung von Displays nehmen die produktionstechnischen Herausforderungen ständig zu. Die zunehmende Substratgröße und die kleiner werdende Pixelgröße bei zunehmendem Kostendruck stellen die größte Herausforderung für die notwendige Produktionstechnik dar. Das Reduzieren der Kontaminationsursachen und das Entwickeln von neuen kostengünstigeren Reinraumkonzepten wird für die Zukunft dringend notwendig gesehen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-31634.html