Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Reinraumprozeßlinie für Siliziumtechnologie und Sensorik

 
: Jungnickel, G.; Kabus, M.; Kück, H.; Lauche, J.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1993
Duisburg: IMS, 1994
ISSN: 0932-5824
S.42-44
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-31630.html