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Reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten und -komponenten

Clean equipment design

	Technische Akademie Esslingen -TAE-: Reinraumtechnik - TAE-Lehrgang 1990 Esslingen, 1990 S.1-16 (Vortrag 5)
	Lehrgang Reinraumtechnik <1990, Ostfildern>

	Deutsch
	Konferenzbeitrag
	Fraunhofer IPA ()
	Clean materials; cleanroom; Design rules; Fertigung; Handhabungskomponente; Handling components; Konstruktion; Konstruktionsrichtlinien; Kontamination; Materialpaarung; particle measurement; Partikelemission; Partikelmessung; Partikelmeßtechnik; Reinraum; Reinraumtechnik; Teilchen

Abstract
Aus Gründen der Kontaminationsminimierung bei Fertigungen unter Reinraumbedingungen wird die reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten zunehmend bedeutender. Als Grundlage zur Definition von Konstruktionsrichtlinien sind Handhabungskomponenten bezüglich ihrer Reinraumtauchlichkeit und den Quellen der Partikelemmission untersucht worden. Die Untersuchungsergebnisse sind beschrieben und daraus Konstruktionsrichtlinien abgeleitet.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-31628.html