
Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten und -komponenten
Clean equipment design
Abstract
Aus Gründen der Kontaminationsminimierung bei Fertigungen unter Reinraumbedingungen wird die reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten zunehmend bedeutender. Als Grundlage zur Definition von Konstruktionsrichtlinien sind Handhabungskomponenten bezüglich ihrer Reinraumtauchlichkeit und den Quellen der Partikelemmission untersucht worden. Die Untersuchungsergebnisse sind beschrieben und daraus Konstruktionsrichtlinien abgeleitet.