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Title
Reinraum mit Foerdereinrichtung
Date Issued
1989
Author(s)
Baumbusch, P.
Geissinger, J.
Schanz, R.
Goehner, M.
Patent No
1986-3603534
Abstract
Beschrieben wird ein Reinraum mit einer Foerdereinrichtung (2), die Transportbehaelter (8) von einer Bearbeitungsstation (51, 52, 53) zur naechsten transportiert. Der erfindungsgemaesse Reinraum zeichnet sich durch die Kombination folgender Merkmale aus: - der Reinraum (1) ist voll kapselbar, - mindestens eine Zufuhr- und Entnahmeeinrichtung (3) ueberfuehrt die Carrier ueber eine Schleuse (6) in den Arbeitsbereich der Foerdereinrichtung und entnimmt sie ueber eine Schleuse, - die Foerdereinrichtung (3) weist einen um eine Achse drehbaren Carrier-Traegerarm auf, und - die Bearbeitungsstationen (5) sind im Schwenkbereich des Traegerarms angeordnet.
Language
de
Patenprio
DE 1986-3603534 A0: 19860205