Fraunhofer-Gesellschaft

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Der Reinraum als Produktionsumfeld für die Halbleiterfertigung

 
: Schmutz, W.

Kontaminationskontrolle für Prozeßmedien
1989
S.1-42
Münchner Symposium <3, 1989, München>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Fertigungsanlage; Halbleiter; Reinraum; Reinraumtechnik

Abstract
Erfolgreiche Fertigungsbetriebe, die sich den Anforderungen bei der Herstellung neuer Technologien stellen, werden heute und vor allem in Zukunft nicht ohne gezielt eingesetzte Reinraumtechnik auskommen. Die steigenden Anforderungen an Partikelreduktion können auf lange Sicht nur durch konsequent geplante Reinraumtechnik im Betrieb erfüllt werden. Parallel dazu erfordern die steigenden Anforderungen bezüglich Reproduzierbarkeit und Zuverlässigkeit bei Handhabungsvorgängen bei gleichzeitiger Partikelreduktion die gezielte Automatisierung der Fertigungseinrichtungen, da auf lange Sicht diese Anforderungen von Menschen nicht mehr problemlos erfüllt werden können. Entscheidend ist jedoch in jedem Falle eine gesamtheitliche Betrachtung der geeigneten Produktionsverfahren, dazu benötigter Fertigungsmittel und des erforderlichen Produktionsumfeldes. Die direkte Wechselwirkung zwischen Fertigungsanlage und dem erforderlichen reinen Produktionsumfeld erfordert deshalb für eine erfolgreiche Rein raumfertigung reinraumtaugliche Fertigungsanlagen. Dies ist auch mit der entscheidende Grund dafür, daß sich in Stuttgart innerhalb der Arbeitsgruppe "Halbleiterfertigungsgeräte" am Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA) wissenschaftliche Mitarbeiter mit der Reinraumtauglichkeitsqualifizierung von Fertigungseinrichtungen in einem eigens dafür eingerichteten Prüfzentrum beschäftigen. Für die Zukunft ist sicher, daß die Reinraumtechnik - konventionell und in neuartigen Ausführungsformen - als notwendiges Produktionsfeld für neue Technologien eine Schlüsselposition einnehmen wird.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-31616.html