Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Reinraum- und Fertigungsplanung

 
: Kück, H.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1988
Duisburg: IMS, 1989
ISSN: 0932-5824
S.29
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-31614.html