Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Reduzierung des Wärmeverlustes von Si-Membranen durch Trenchisolierung

 
: Werno, J.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kersjes, R.A.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1993
Duisburg: IMS, 1994
ISSN: 0932-5824
S.33-34
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-31473.html