Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Reduction of wafer transfer for optimizing material flow

 
: Mack, A.; Sauter, K.-D.; Wohnhas, S.

Solid state technology 31 (1988), Nr.2, S.43-45 : Abb.
ISSN: 0038-111X
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
carrier; Halbleiterfertigung; Materialfluss

Abstract
Der Artikel behandelt Strategien zur Vermeidung von Umhordevorgaengen in der Halbleiterfertigung. Mit Hilfe dieser Strategien werden Moeglichkeiten zur Optimierung von Materialfluss und Handhabungsvorgaengen aufgezeigt. (IPA)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-31460.html