Fraunhofer-Gesellschaft

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Realisierung von monolithisch integrierten Mikrosystemen

 
: Kück, H.

Verband Deutscher Maschinen- und Anlagenbau e.V. -VDMA-, Fachgruppe Produtronic, München; Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung; Fördergemeinschaft Dünne Schichten -FDS- e.V.:
Workshop Anforderungen an Dünnschichttechnologien für Mikrosysteme, Sensoren und Flachbildschirme 1997
Frankfurt/Main, 1997
Workshop Anforderungen an Dünnschichttechnologien für Mikrosysteme, Sensoren und Flachbildschirme <1997, Frankfurt/Main>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
Mikrosystem; monolithisch integriertes Mikrosystem

Abstract
Der Vortrag zeigt an Beispielen, wie im Fraunhofer-Institut Mikroelektronische Schaltungen und Systeme durch Erweiterung einer SMOS-Technologie neuartige monolithische Mikrosysteme realisiert wurden. So werden u. a. Sensorsysteme für Druck, Durchfluß, Infrarotstrahlung und Magnetfeld sowie Mikrospiegelanordnungen mit aktiver CMOS-Ansteuerung als Lichtmodulatoren vorgestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-31107.html