Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Range distributions.

Tiefenverteilungen
 
: Ryssel, H.

Ion-Implantation Techniques
Berlin: Springer, 1982
S.177-205 : Abb.,Tab.,Lit.
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Dotierung; Ionenimplantation; Silizium; Tiefenverteilung

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-30818.html