Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Range and damage distributions in ultra low-energy boron ion implantation

 
: Hatzopoulos, N.; Suder, S.; Berg, J. van den; Donnelly, S.E.; Armour, D.G.; Panknin, D.; Fukark, W.; Frey, L.; Foad, M.A.; Moffatt, S.; Bailey, P.; Noakes, C.T.Q.

:

Ishidida, E.:
Ion implantation technology 1996. Proceedings of the Eleventh International Conference on Ion Implantation Technology
Piscataway: IEEE, 1997
ISBN: 0-7803-3289-X
S.527
International Conference on Ion Implantation Technology (IIT) <11, 1996, Austin/Texas>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-30817.html