Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Quo Vadis Reinraumtechnik?

 
: Baumgärtner, H.; Dorner, J.

ReinRaumTechnik 1 (1999), Nr.1, S.42-43
ISSN: 1439-4251
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Entwicklung; Reinraumtechnik

Abstract
Über die aktuellen Entwicklungen in der Reinraumtechnik sprach Dr. Heiko Baumgartner anläßlich der Semicon '99 mit Dr. Johann Dorner, dem Abteilungsleiter Reinst- und Mikroproduktion am Fraunhofer Institut für Produktionstechnik und Automatisierung in Stuttgart.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-30703.html