Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Puls Plasma

Eine neue Ära der PVD-Technik
 
: Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Schiller, N.

Schiller, S.; Arnold, A.; Wünsche, M. ; Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik -FEP-, Dresden:
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Jahresbericht 1996
Dresden: FEP, 1997
S.23-30 : Ill., Lit.
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer FEP ()
Puls Plasma; PVD

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-30214.html