Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Proximity correction for e-beam pattering on X-ray mask blanks

 
: Reimer, K.; Pongratz, S.

33rd International Symposium on Electron, Ion and Photon Beams '89. Proceedings
1989
International Symposium on Electron, Ion and Photon Beams <33, 1989, Monterey/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-29980.html