Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Proton-proton scattering as a tool for hydrogen profiling in thin films for semiconductor technology.

Proton-Proton-Streuung als eine Methode fuer Wasserstoffprofilierung in duennen Filmen fuer die Halbleitertechnologie
 
: Paduschek, P.; Eichinger, P.

Nuclear instruments and methods in physics research 191 (1981), S.75-79 : Abb.,Lit.
ISSN: 0029-554X
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Dünnfilm; Protonenstreuung; Wasserstoffprofil

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-29956.html