Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Properties of crosslinked positiv-acting X-ray, resists, fabricated on the basis of poly

methylmethacrylate - co-methacryl chloride
 
: Asmussen, F.; Betz, H.; Chen, B.T.; Heuberger, A.; Pongratz, S.; Sotobayashi, H.; Schnabel, W.

Journal of the Electrochemical Society 130 (1983), Nr.1, S.180-184 : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0013-4651
ISSN: 1945-7111
ISSN: 0096-4786
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Lithographie; Photolack; Röntgenstrahlen

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-29905.html