Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Produktion von Si-Mikrosysstemen als Dienstleistung im Rahmen des EU-Projekts EUROPRACTICE

 
: Mokwa, W.; Kersjes, R.A.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1995
Duisburg: IMS, 1996
S.27-28
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-29591.html