Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Present status and problems of X-ray lithography.

Derzeitiger Stand und Probleme der Roentgenlithographie
 
: Betz, H.; Heuberger, A.

SEMICON Europa 1981. Proceedings : Zuerich, March, 1981
Brüssel: SEMI Europe, 1981
S.537-579 : Abb., Lit.
Semicon Europa <1981, Zürich>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Lithographie; Röntgenstrahlen; Stand der Technik

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-29292.html