Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Preparation and characterization of ultra-thin cobalt silicide for VLSI applications

 
: Kal, S.; Kasko, I.; Ryssel, H.

:
Postprint (PDF; )

Bulletin of materials science 18 (1995), S.531ff
ISSN: 0250-4707
Englisch
Zeitschriftenaufsatz, Elektronische Publikation
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-29239.html