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50V BCDMOS-Prozeß mit dielektrischer Isolation zur Herstellung intelligenter Leistungshalbleiter
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1992
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Titel
50V BCDMOS-Prozeß mit dielektrischer Isolation zur Herstellung intelligenter Leistungshalbleiter
Author(s)
Weyers, J.
Vogt, H.
Hauptwerk
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1991
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS