Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Potenzen des Puls-Magnetron-Sputterns (PMS)

 
: Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Metzner, C.

:

Vakuum in Forschung und Praxis 7 (1995), Nr.4, S.286-292
ISSN: 0947-076X
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-29049.html