Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Polykristalline Siliziumschichten als Basismaterial fuer Sensoren

 
: Obermeier, E.; Reichl, H.

Henning, W.:
Sensoren, Technologie und Anwendung 1982. Vorträge der NTG-GMR-Fachtagung
Berlin: VDE-Verlag, 1982 (NTG-Fachberichte 79)
ISBN: 3-8007-1249-0
S.49-55 : Abb.,Lit.
Fachtagung Sensoren, Technologie und Anwendung <1, 1982, Bad Nauheim>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Polysilizium; sensor

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-28895.html