Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Plasma focus as a radiation source for X-ray lithography

 
: Eberle, J.; Krompholz, H.; Lebert, R.; Neff, W.; Noll, R.

Microelectronic engineering (1985), Nr.3, S.611
ISSN: 0167-9317
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ILT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-28766.html