Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Pill-box capless thermal-heat-pulse annealing of ion-implanted GaAs.

Thermisches Impulsausheilen von implantiertem GaAs
 
: Haydl, W.H.

IEEE Electron Device Letters 5 (1984), Nr.3, S.78-81 : Abb.,Lit.
ISSN: 0741-3106
ISSN: 0193-8576
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IAF ()
Galliumarsenid; Ionenimplantation; Substrat; Wärmeimpuls(kurzzeitig)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-28567.html