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1994
Conference Paper
Titel
Personal und Fertigung im Reinraum
Abstract
Im folgenden Beitrag wird ein Überblick über die Kontaminationsfaktoren in Reinräumen gegeben, wobei der Schwerpunkt auf die partikelartige Kontamination gelegt wird. Hierzu werden verschiedenste Kontaminationsarten aufgeführt, wie sie in jeder Fertigung unter Reinraumbedingungen auftreten können. Die potentiellen Partikelquellen in Fertigungen werden diskutiert. Aus theoretischen Betrachtungen wird herausgearbeitet, daß die Luftströmung im Reinraum als der Haupttransportmechanismus für die Partikel genannt werden kann. Hierzu werden einige grundsätzliche Betrachtungen zu Parametern in Reinraumen angestellt. Als dritter Hauptteil wird auf das Personal als Partikelquelle und dessen Verhalten in Reinräumen eingegangen.